当社のジャケットヒーターは、半導体・液晶製造工程における排気配管内生成物閉塞防止とガス配管の再液化防止等に高い性能を発揮します。

◆特長◆ 1 発熱体にステンレスファイバーを使用し断線の心配がほとんどありません。 2 マジックテープを用い脱着作業を容易にいたしました。 3 配管レイアウトに合わせた縫製仕立てで、温度分布の精度を高めました。 4 安全性を高める為、ジャケットヒーター内に温度ヒューズを内蔵いたしました。

　プラズマ用電源機器メーカーとして信頼性の高いアドテックプラズマテクノロジー社製品を幅広く取り扱い、半導体・液晶製造業は勿論、多くのニーズにお答えします!!

■プラズマ用高周波電源 AXシリーズ

・低スプリアスノイズ ・高反射波に耐える高信頼、高耐久設計 ・ストライクプラズマを発生させるアドテック製自動インピー 　ダンス整合装置と併用可能 ・300Wから30000Wまで対応

■サーモチラー HRZシリーズ

高い温度安定性、ワイドな温度レンジ、故障診断、外部通信など充実装備で半導体プロセス装備に実績多数。 ・各種安全規格に対応。 ・UL、SEMI規格適合、CEマーキング。 ※貸出サンプル機をご用意しています。

■新市場製品

高真空機器		フッ素樹脂機器
高真空バルブ	ゲートバルブ	フッ素樹脂機器

　半導体・FPD製造業向け、SMC社の新市場製品群。アルミ製高真空バルブやゲートバルブ等の高真空機器をはじめ、薬液供給用のフッ素樹脂機器製品など幅広く取り扱っております。

■膜式ドライヤ サンセップ

電源不要の中空糸膜式で、 簡単に乾燥空気が得られます!! ・電源不要、防爆エリアでも使用可能。 ・機械的な駆動部が無く、メンテフリー。 ・ドレン処理不要 ・ノンフロン 除湿だけで無く、加湿も可能。 ※ガス分析用　SWGシリーズもラインナップ。