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オゾン層破壊、温暖化といった環境地球環境への影響が小さく、
お客様の幅広いご要望にお応え出来るフッ素系溶剤です。
特徴
安全性：引火点が無く不燃性。多くの法規制にも非該当
安心：熱的・化学的に安定で、幅広い材料に適合
快適：汎用性が高く、コストダウンにも貢献
環境：環境への影響が小さく、蒸留再生によりリサイクルが可能
| 商品名 | 単位 | AE-3000 | AC-2000 | AC-6000 |
|---|---|---|---|---|
| 外観 |  |
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| 分類 | HFE | HFC | HFC | |
| 沸点 | ℃ | 56 | 70.8 | 114.7 |
| 凝固点 | ℃ | -94 | -85 | -76 |
| GWP | CO2=1 100年値 | 580 | 2000 | 136 |
| 荷姿 | 1kg樹脂ボトル 20kgペール缶 300kgドラム缶 |
1kg樹脂ボトル 20kgペール缶 |
1kg樹脂ボトル 20kgペール缶 |
用途例：熱冷媒
| 事例 | AE-3000 | AC-2000 | AC-6000 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 二次冷媒 (ブライン) |
半導体製造装置用 (ブライン) |
ドライエッチング装置・露光装置・CVD 装置・プローバ・IC テスタの温度管理 | ○ | ○ | ○ |
| 超低温ブライン | 化学・医薬品製造プラントの冷却、環境試験室の温度調節 | ||||
| 分析器・恒温槽熱媒体、精密機器・電子機器・コンピューターサーバー・センサー等の冷却、チラー用循環液 | |||||
| 熱媒体 | ヒートパイプ | 整流器・LED・レーザー発生装置の冷却、各種ヒートパイプ | ○ | ○ | ○ |
| 発電用媒体 | ランキンサイクル・工場排熱利用・地熱発電など作動媒体 | ||||
| 評価用媒体 | リークテスト溶媒 | 水晶振動子・電子部品のグロスリークテスト、フィルター・バルブなどの気密試験、熱衝撃試験等の媒体 | ○ | ○ | ○ |
| 信頼性試験溶媒 |
| 溶剤洗浄機・溶剤再生回収装置 |  溶剤洗浄機 |
高純度シリコンウエハー 希土類金属 ファインセラミックス ディスクシッパー、プロセスキャリヤ、 合成石英 ヘッド搬送トレー 等 スパッタリングターゲット デバイスハンドリング製品 ウェハーキャリヤ、チップトレー、 ウェハーシッパー・トレー 等 |  シリコンウエハー |
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