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除 去 設 備
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毒性ガス中和装置（特殊材料ガス・塩素・アンモニア・亜硫酸・塩化水素・硫化
水素）・脱硫装置・集塵装置・脱水装置 |
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材料ガス供給機器
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フルオートシリンダーキャビネット・緊急遮断弁（ＧＡＳ－Ｘ）
・ガス供給配管及び、施工 |
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真空ポンプ
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ドライポンプ・ロータリーポンプ・ターボ分子ポンプ・ディフュ
ージョンポンプ・各種真空ポンプのオーバーホール及び周辺機器 |
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液送ポンプ
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エアーダイアフラムポンプ・ベローズポンプ・マグネットポンプ |
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排ガス処理装置
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反応副生成物トラップフィルター・乾式除害装置・湿式除害装置
・燃焼式除害装置・熱酸化式除害装置 |
| 排気管保護ヒーター |
ジャケットヒーター・ワンタッチヒーター |
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製造装置周辺機器
消耗部品
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断熱リング・石英ヒーター・各種石英加工品・ＳｉＣ加工品・各
種セラミックス加工品・マスフローコントローラー・特殊Ｏ－リ
ング・その他、各種消耗部品 |
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注 入 設 備
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塩素注入装置・次亜塩素発生装置・次亜塩素注入装置 |
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環境関連機器
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環境モニター（ＡＣＭ）・各種定置式ガス検知器
・総合ガス漏洩監視システム |
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検知警報設備
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毒性・可燃性ガス検知警報器・ドーパントガス検知警報システム（ＴＧＭ） |
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遮 断 設 備
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感震器警報器連動緊急遮断装置・ガス遮断弁 |
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測 定 器
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残留塩素測定計・ＰＨ計・騒音計 |
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保 安 用 具
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保安工具箱・防毒マスク・避難用品・各種消火器 |
