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   シリコーン樹脂

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 オゾン層破壊、温暖化といった環境地球環境への影響が小さく、お客様の幅広いご要望にお応え出来るフッ素系溶剤です。

特徴

安全性:引火点が無く不燃性。多くの法規制にも非該当
安心:熱的・化学的に安定で、幅広い材料に適合
快適:汎用性が高く、コストダウンにも貢献
環境:環境への影響が小さく、蒸留再生によりリサイクルが可能

商品名 単位 AE-3000 AC-2000 AC-6000
外観  
分類   HFE HFC HFC
沸点 56 70.8 114.7
凝固点 -94 -85 -76
GWP CO2=1 100年値 580 2000 136
荷姿   1kg樹脂ボトル
20kgペール缶
300kgドラム缶
1kg樹脂ボトル
20kgペール缶
1kg樹脂ボトル
20kgペール缶

用途例:熱冷媒

    事例 AE-3000 AC-2000 AC-6000
二次冷媒
(ブライン)
半導体製造装置用
(ブライン)
ドライエッチング装置・露光装置・CVD 装置・プローバ・IC テスタの温度管理
  超低温ブライン 化学・医薬品製造プラントの冷却、環境試験室の温度調節
分析器・恒温槽熱媒体、精密機器・電子機器・コンピューターサーバー・センサー等の冷却、チラー用循環液
熱媒体 ヒートパイプ 整流器・LED・レーザー発生装置の冷却、各種ヒートパイプ
発電用媒体 ランキンサイクル・工場排熱利用・地熱発電など作動媒体
評価用媒体 リークテスト溶媒 水晶振動子・電子部品のグロスリークテスト、フィルター・バルブなどの気密試験、熱衝撃試験等の媒体
信頼性試験溶媒

   溶剤洗浄機

溶剤洗浄機・溶剤回収機
環境機器
湿式空調機器・脱臭装置
油圧機器・空圧機器

   シリコンウエハー

高純度シリコンウエハー
希土類金属

ファインセラミックス

ディスクハンドリング製品
ディスクシッパー、プロセスキャリヤ、
ヘッド搬送トレー 等

合成石英
スパッタリングターゲット
デバイスハンドリング製品
ウェハーキャリヤ、チップトレー、
ウェハーシッパー・トレー 等

 半導体・液晶・光ファイバー・輸送機器・石油化学工業・産業機械・ゴム・プラスチック・成型加工・製薬・食品・建築・官公庁・学校・研究機関 他