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溶剤

オゾン層破壊、温暖化といった環境地球環境への影響が小さく、
お客様の幅広いご要望にお応え出来るフッ素系溶剤です。

特徴

安全性:引火点が無く不燃性。多くの法規制にも非該当
安心:熱的・化学的に安定で、幅広い材料に適合
快適:汎用性が高く、コストダウンにも貢献
環境:環境への影響が小さく、蒸留再生によりリサイクルが可能

商品名 単位 AE-3000 AC-2000 AC-6000
外観  
分類   HFE HFC HFC
沸点 56 70.8 114.7
凝固点 -94 -85 -76
GWP CO2=1 100年値 580 2000 136
荷姿   1kg樹脂ボトル
20kgペール缶
300kgドラム缶
1kg樹脂ボトル
20kgペール缶
1kg樹脂ボトル
20kgペール缶

用途例:熱冷媒

    事例 AE-3000 AC-2000 AC-6000
二次冷媒
(ブライン)
半導体製造装置用
(ブライン)
ドライエッチング装置・露光装置・CVD 装置・プローバ・IC テスタの温度管理
  超低温ブライン 化学・医薬品製造プラントの冷却、環境試験室の温度調節
分析器・恒温槽熱媒体、精密機器・電子機器・コンピューターサーバー・センサー等の冷却、チラー用循環液
熱媒体 ヒートパイプ 整流器・LED・レーザー発生装置の冷却、各種ヒートパイプ
発電用媒体 ランキンサイクル・工場排熱利用・地熱発電など作動媒体
評価用媒体 リークテスト溶媒 水晶振動子・電子部品のグロスリークテスト、フィルター・バルブなどの気密試験、熱衝撃試験等の媒体
信頼性試験溶媒
溶剤洗浄機・溶剤再生回収装置

溶剤洗浄機

高純度シリコンウエハー
希土類金属
ファインセラミックス
ディスクシッパー、プロセスキャリヤ、
ヘッド搬送トレー 等
合成石英
スパッタリングターゲット
デバイスハンドリング製品
ウェハーキャリヤ、チップトレー、
ウェハーシッパー・トレー 等

シリコンウエハー

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